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a.四轴可调衬底载物平台：XY方向行程20mm，转移对位操作精度2μm；绕z轴手动调节旋转最大±90°，测微器精细调节，行程5°，调节精度0.5°左右；绕x轴和y轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm，倾斜角度±2°；
b.衬底载物平台加热系统：样品台加热最高温度为240℃，配备0.1℃高精度PID控温器及风冷系统，支持真空自动吸附样品；
c.四轴可调载玻片移动平台：载玻片XYZ三轴可调，80mm高稳定性台面，行程25mm，测微丝杆控制；Z轴为29mm直径百刻线微分头，便于精细升降操作；样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度1~2°；
d.多物镜显微镜：变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，标准工作距离90mm，分辨率63-180lp/mm，95mm超长工作距离20倍物镜，综合最大放大倍率850~900倍；另配备10倍、50倍物镜。
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