中心简介
中北大学微纳加工中心筹建于2007年，2012年完成环境建设，2015年产线全部贯通，总投资超1亿元。依托省部共建动态测试技术国家重点实验室、山西省微纳制造与传感技术工程研究中心等科研机构及中北大学半导体与物理学院、仪器与电子学院科研团队，中心形成了完整的微/纳器件设计、加工、测试研发平台，在国内高校中处于先进水平。
中心占地面积1000㎡，拥有净化面积达500㎡的4英寸MEMS工艺线，配置了国际一流的微纳加工、测试、封装设备，具备硅基MEMS矢量水听器、MEMS压阻式压力传感器、MEMS加速度计、热电堆红外探测器等全套工艺加工能力，可为国内外同行提供微纳器件研发、工艺代工、工艺测试等技术服务。
区域功能介绍
中心净化区按设备功能可分为湿法工艺区、黄光区、等离子工艺区、高温工艺区、测试功能区及定制功能区。
（1）湿法工艺区配置了标准硅清洗机、有机、无机清洗机、电镀台、炉管清洗槽等设备，可完成完成硅片初始、各工艺步骤辅助的化学清洗、背腔湿法腐蚀以及金属电镀等工艺任务。
（2）黄光区配置了匀胶热板机、喷胶机、光刻机、晶圆键合机、等离子去胶机、可完成微纳加工工艺循环中的核心工艺——硅MEMS双面光刻及其辅助工艺的功能。
（3）等离子工艺区配置了磁控溅射镀膜机、纳米团簇沉积系统、ICPCVD、原子层沉积设备、Parylene真空气相淀积仪、反应离子刻蚀机、深硅刻蚀设备、XeF2刻蚀机及离子束刻蚀设备等，可完成前道微加工工序中物理、化学薄膜沉积以及干法刻蚀等加法和减法工艺任务。
（4）高温工艺区配置三管氧化扩散系统、快速热处理炉，可完成前道微加工工序中干氧、湿氧、掺杂、推进、合金、欧姆接触退火等工艺任务。
（5）测试功能区配置了扫描电子显微镜、高低温探针台、半导体参数分析仪、原子力显微镜、台阶仪及型激光共聚焦显微镜等测试设备，可完成前道微加工工序中所需要测试的芯片表面形貌、工艺质量监控、芯片性能测试等任务。
（6）定制功能区拥有高温管式炉、静电纺丝设备、划片机及化学机械减薄抛光机，可完成非硅工艺的功能陶瓷材料薄膜制备以及减薄抛光、划裂片的后道工序；
此外，中心还拥有三轴位置速率摇摆温控转台、高精度光学分度头、单轴角振动台、高精度定位定向系统、高低温冲击/潮湿/气压试验箱、高加速度冲击试验系统等测试设备，能够进行高精度导航系统的标校与传感器环境综合可靠性试验。
开放合作模式介绍
中心对研究所、高校和企业全方位开放，主要的开放包括以下四种形式。
（1）设备资源开放 所有设备对研究所、高校、企业甚至个人全部开放，申请人经过中心的技术人员培训获得上岗资格后可以独立使用中心的部分设备从事科研和产品的开发。
（2）研究场地开放 申请单位可以独立运行所申请的超净空间、安置研发设备，配合中心提供的设备资源进行研发工作。
（3）人才开放 中心可以向申请单位或个人提供人员支持协助参与申请者非核心的技术工作或者开放型的研究工作。
（4）技术开放 本着开放的原则，中心可以向申请单位或个人提供般的技术支持，以进加工测试技术进步，降低使用者的技术研发成本。
目前，中心已与国内外多家高校、科研院所及企业建立了深度合作关系，并提供单步、多步及全流程工艺解决方案。
中北大学微纳加工中心，热忱欢迎有需求的客户来电咨询并开展技术合作!