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其它设备

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设备名称：快速退火炉(RTP)

 

规格型号： RTP500V+ 生产厂家： 北京东之星应用物理所
工艺类别： 其它设备 所属单位： 微纳加工中心
最小预约时间： 1小时 位　　置： 微纳加工中心
用　　途

主要用于离子注入、欧姆接触等工艺的快速真空退火。
技术指标

温度范围:150℃~1250℃

升温速率:0.01-180℃/s， 稳态温度稳定性:士2℃；

样品尺寸：≤4inch，向下兼容；

版权所有：中北大学微纳加工中心       地址：山西省太原市学院路3号     中心电话：0351-3557319