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其它设备

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设备名称:真空退火炉

 

规格型号: OTF-1200X-4-RTP 生产厂家: 合肥科晶
工艺类别: 其它设备 所属单位: 微纳加工中心
最小预约时间: 1小时 位  置: 微纳加工中心
用  途

主要用于真空、气体氛围下的快退火。

技术指标

真空度(min):50mtorr:;

温度(max):1000℃控温精度:±1℃以内;

升温速率:室温~800℃内≥50℃/sec;800℃~1000℃内≥10℃/sec;