薄膜应力仪-中北大学微纳加工中心

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设备名称：薄膜应力仪

用　　途
主要用于测量晶圆或刚性基体表面薄膜的残余应力、曲率半径、弓高及轮廓形貌。

技术指标
薄膜应力测试范围：1MPa～10 GPa；曲率半径测试范围：2～20000m，曲率半径重复精度优于±1%/±2.5%；样品尺寸：最大支持8英寸样品，向下兼容6、4、2英寸；扫描最小步长：0.1mm；工作温度：真空腔体加热，实测可达室温～600℃。