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检测设备

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设备名称：白光干涉形貌测试系统

 

规格型号： MSA400 生产厂家： 德国Polytech
工艺类别： 检测设备 所属单位： 微纳加工中心
最小预约时间： 30分钟 位　　置： 微纳加工中心
用　　途

主要用于半导体芯片缺陷检测。
技术指标

横向分辨率：0.75μm
纵向分辨率：<100nm级
测试系统纵向量程：50mm+400um
横向量程为x方向：100mm；y方向：75mm

版权所有：中北大学微纳加工中心       地址：山西省太原市学院路3号     中心电话：0351-3557319