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检测设备

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设备名称:芯片检测显微镜

 

规格型号: P6 Style profiler 生产厂家: zEISS
工艺类别: 检测设备 所属单位: 微纳加工中心
最小预约时间: 15分钟 位  置: 微纳加工中心
用  途

用于微纳结构的观察、检测。

技术指标

具备极黑背景暗场技术,可减少光学照明系统的纵向色差;采用ICCS无限远轴向及径向双重色差校正技术;可见光下,极限可视分辨率优于0.2um;有消杂散光技术可提高成像反差和对比度;目镜:宽视场双目观察,10x/23高眼点,(科学的视场数)带视度补偿目镜,配置预装10/100十字线测微尺。双目照相镜筒为铰链式,眼点高低可调;平面移动范围大于75x50mm,高度范围大于110mm,具备6孔物镜转换器;记录装置:工业级专业彩色高分辨率数码摄像头,大于300万世纪有效像素,非数差值微位移,位图深度36位真色彩的高清晰、高分辨率。安装滤色片系统,配置日光矫正及隔热滤片;目镜十字线测微尺10/100和台尺1/100mm用于长度等的测量及定标。