生产条件
可用于各种固态样品表面形貌的超分辨观察（二次电子像、反射电子像观察及图像处理），同时具备样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析、化学组分综合分析及电子束图形化曝光。
二次电子像分辨率：0.8nm@15 kV， 1.6nm@l kV；加速电压范围：0.02kV～30 kV；样品室尺寸：330 mm内径，270mm高；最大样品尺寸：不大于200mm(直径)；放大倍率：12×～1000,000×。
