常温探针台-中北大学微纳加工中心

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设备名称：常温探针台

用　　途
配合半导体参数分析仪，用于芯片常温环境下电学性能的表征。

技术指标
操作方式：手动探针台； X-Y方向移动范围：155x155mm； Z方向移动范围：10mm； Theta移动范围：±8°。