高低温探针台-中北大学微纳加工中心

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设备名称：高低温探针台

用　　途
配合半导体参数分析仪，在真空和20K-675K温度范围内进行芯片的电学性能的表征。

技术指标
系统温度范围：20K-675K；控温稳定性：±50mK；最大测试样品尺寸：51mm（直径）；可使用探针臂：4个；探针臂可进行3轴调整和平面内±5度的调整。