半导体参数分析仪-中北大学微纳加工中心

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设备名称：半导体参数分析仪

用　　途
主要用于同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。

技术指标
直流电流-电压(I-V) 范围：10 aA - 1A，0.2 µV - 210 V；电容-电压(C-V) 范围：1 kHz - 10 MHz，± 30V 直流偏置；脉冲 I-V范围：±40 V (80 V p-p)，±800 mA，200 MSa/s，5 ns 采样率。