生产条件
主要用于几纳米到一毫米的台阶高度测量，同时支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达150毫米，无需拼接。
扫描水平方向连续扫描长度：150mm；扫描垂直方向长度：1mm；扫描垂直方向精度：4Å；最佳垂直方向测试距离：1μm；样品尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品。
