生产条件
可用纳米空间分辨率和皮米垂直灵敏度的压电材料的机电性能的表征和分析。
XY扫描范围：90μm×90μm可控；Z扫描范围：15μm可控；驱动电压范围：±150V范围可控；电流测试范围：1pA~20nA可控,分辨率<1pA；温度测试范围：室温~300℃可控；磁场变化：面内±8000G，面外±1500G可控；样品尺寸：1×1cm，向下兼容，非规则样品；样品要求：表面高度差<1μm。
