高压压电力显微镜（PFM）-中北大学微纳加工中心

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设备名称：高压压电力显微镜（PFM）

用　　途
可用纳米空间分辨率和皮米垂直灵敏度的压电材料的机电性能的表征和分析。

技术指标
XY扫描范围：90μm×90μm可控； Z扫描范围：15μm可控；驱动电压范围：±150V范围可控；电流测试范围：1pA~20nA可控,分辨率