紫外激光精细微加工设备-中北大学微纳加工中心

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设备名称：紫外激光精细微加工设备

用　　途
主要用于硅、石英玻璃、陶瓷、蓝宝石、MgO、SiC等材料的钻孔、切割和表面刻蚀。

技术指标
加工幅面：200mm×200mm；定位精度：±3um；重复定位精度：±2um；激光波长：355nm；聚焦光斑：10-25μm可调；加工精度：±15um；最大运行速度：200mm/s（X、Y轴）25mm/s（Z轴）。