生产条件

刻蚀设备

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设备名称：氟化氙刻蚀

 

规格型号： PX-1 生产厂家： 百腾科技(苏州)有限公司
工艺类别： 刻蚀设备 所属单位： 微纳加工中心
最小预约时间： 30分钟 位　　置： 微纳加工中心
用　　途

主要用于硅的各向同性干法刻蚀。
技术指标

刻蚀硅速率：>5μm/min
样品尺寸：1片4 inch，向下兼容

版权所有：中北大学微纳加工中心       地址：山西省太原市学院路3号     中心电话：0351-3557319