生产条件
主要用于干氧氧化、湿氧氧化（氢氧合成）及硼（B)扩散掺杂。
最大可控升温速率：15°C/min；工作温度范围：200-1200℃；温度精度：±0.5℃；样品尺寸：4 inch，同时放2个石英舟，25片/舟，共50片/次；恒温区长度：800mm；气体：N2、O2、H2。
