生产条件

镀膜设备

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设备名称：Parylene真空气相淀积仪

 

规格型号： PDS2010 生产厂家： 美国SCS公司23
工艺类别： 镀膜设备 所属单位： 微纳加工中心
最小预约时间： 30分钟 位　　置： 微纳加工中心
用　　途

主要用于Parylene C薄膜的沉积。
技术指标

淀积薄膜：Parylene C；
淀积速率：100nm/hr~5μm/hr可控；
淀积薄膜厚度：100nm~10μm可控；
淀积均匀性：片内

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