纳米团簇沉积系统-中北大学微纳加工中心

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设备名称：纳米团簇沉积系统

用　　途
主要用于Ag纳米颗粒沉积。

技术指标
溅射薄膜级别：纳米级-微米级；直流电源：≤600V 、1.2A；最高分辨率：+ 2%；最大制备尺寸：4inch；生长纳米颗粒尺寸：1-20nm；生长纳米颗粒偏差：<2%。