生产条件

图形化设备

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设备名称：电子束曝光系统

 

规格型号： Elphy Plus 生产厂家： 德国 卡尔蔡司
工艺类别： 图形化设备 所属单位： 微纳加工中心
最小预约时间： 15分钟 位　　置： 微纳加工中心
用　　途

利用聚焦电子束代替光照以实现抗蚀剂（光刻胶）的曝光（改性），可实现纳米尺度线宽图形。
技术指标

样品尺寸：1cm*1cm

最小光栅宽度：<150μm

束闸通断频率：200kHz

版权所有：中北大学微纳加工中心       地址：山西省太原市学院路3号     中心电话：0351-3557319