生产条件
纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法，它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构，而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。
压印方式：热压和紫外压印；最小压印尺寸：<100nm；最高压印温度:250℃；最大压力:0.8MPa；样品尺寸：1片4 inch，向下兼容；可压印材料：硅，氧化硅，碳化硅等。
