喷胶机-中北大学微纳加工中心

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设备名称：喷胶机

用　　途
可对不同尺寸和形状的基片进行涂胶，满足对大深宽比结构的侧壁进行均匀涂胶。

技术指标
样品尺寸：≤4 inch；胶厚：≥5μm；均匀性：<10%@10μm；温度：22-125℃。