匀胶热板机-中北大学微纳加工中心

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设备名称：匀胶热板机

用　　途
主要用于光刻胶旋涂及烘烤

技术指标
样品尺寸：4inch；温控精度：0.1℃；温控范围：22-300℃；温度均匀性: ±0.3%；旋转转速：0-12,000rpm；旋转加速度：0-30000rpm/sec；转速调节精度：0.2rpm，重复性< 0.2rpm；旋涂作业均匀性：< ±3%。